1、平面度

      平面測(cè)量是在角度測(cè)量的基礎(chǔ)上做的延伸，利用角度測(cè)量的附件記錄下一系列平面位置角度，轉(zhuǎn)化為高度的變化，按照對(duì)角線的方法測(cè)量出平臺(tái)上不同位置的高度變化值，就可以得到整個(gè)平臺(tái)的平面度。

2、平面度測(cè)量用組件

        平面度測(cè)量用到的激光干涉儀組件：
        激光干涉儀測(cè)頭、角度測(cè)量光學(xué)鏡組、平面度測(cè)量組件、Leice Measure測(cè)量軟件、Leice Analysis 分析軟件。

3、平面度測(cè)量應(yīng)用

       測(cè)量坐標(biāo)測(cè)量機(jī)臺(tái)面以及各種平板的表面形狀。