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1、重復(fù)定位精度測量原理重復(fù)定位精度測量主要用到干涉儀的線性測量，即對待測平移裝置的定位進(jìn)行多次測量，比較得到同一位移指令下的定位精度。線性度測量是激光干涉儀的基本測量，原理如圖所示。將一個(gè)角錐反射鏡安裝到分光鏡上，組成線性干涉鏡，它形成干涉儀的參考光路。另一個(gè)角錐反射鏡…[詳情]

雙頻激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展而來的一種外差式干涉儀。傳統(tǒng)單頻激光干涉儀采用單頻技術(shù)，容易受到外界環(huán)境干擾，微小的空氣湍流都會引起直流電平變化從而影響測量結(jié)果，這是單頻干涉儀的一個(gè)根本弱點(diǎn)。在測試環(huán)境惡劣或測量距離較長時(shí)，這一缺點(diǎn)十分突出，而雙頻激光…[詳情]

鐳測科技推出的LS600單頻激光干涉儀采用單頻測量技術(shù)，技術(shù)指標(biāo)達(dá)到或優(yōu)于國外產(chǎn)品同等水平。通過與不同的光學(xué)組件結(jié)合，可實(shí)現(xiàn)對線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何量的檢測，是高精度線性位移測量、數(shù)控機(jī)床校準(zhǔn)、三坐標(biāo)機(jī)校準(zhǔn)、光學(xué)平臺校準(zhǔn)的高效率量測工具。 系統(tǒng)組成…[詳情]

激光干涉儀，以激光波長為已知長度，利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量。激光具有高強(qiáng)度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點(diǎn)。目前常用來測量長度的干涉儀，主要是以邁克爾遜干涉儀為主，并以穩(wěn)頻氦氖激光為光源，構(gòu)成一個(gè)具有干涉作用的測量系統(tǒng)。激光干…[詳情]

滿足計(jì)量檢測用戶更穩(wěn)定、更高精度、更便利的使用要求； 以光刻機(jī)用激光干涉測量系統(tǒng)為基礎(chǔ)， 在保留高穩(wěn)定性、高精度、高采樣速率卓越性能的同時(shí)， 將光源和測量信號接收處理單元集成在主機(jī)里， 一體化設(shè)計(jì)為用戶提供更加方便、易用、友好的使用體驗(yàn)；[詳情]