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1、平行度測(cè)量原理 平行度測(cè)量由兩組直線度測(cè)量組成，兩次測(cè)量都以直線度反射鏡的光學(xué)軸為參考基準(zhǔn)。需要說明的是，要得到兩軸的平行度，要在兩個(gè)正交平面內(nèi)沿每個(gè)要被比較的軸測(cè)量直線度。因此，平行度或平行線測(cè)量實(shí)際是四次直線度測(cè)量，每次的步驟和方法同測(cè)量直線度一樣，如下圖所示…[詳情]

1、回轉(zhuǎn)軸測(cè)量原理利用鐳測(cè)激光干涉儀的角度測(cè)量附件，結(jié)合高精密轉(zhuǎn)臺(tái)，便可以對(duì)回轉(zhuǎn)軸進(jìn)行校準(zhǔn)。轉(zhuǎn)臺(tái)小巧輕便，單手可握住并可以多種方式安裝到機(jī)床上；支持內(nèi)置電池或線纜供電，藍(lán)牙傳輸數(shù)據(jù)；內(nèi)置準(zhǔn)直光靶，提高對(duì)光效率；任意角度、任意間隔自動(dòng)測(cè)量。 2、測(cè)量步驟和數(shù)據(jù)處理[詳情]

激光干涉儀，以激光波長(zhǎng)為已知長(zhǎng)度，利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測(cè)量位移的通用長(zhǎng)度測(cè)量。激光具有高強(qiáng)度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點(diǎn)。目前常用來測(cè)量長(zhǎng)度的干涉儀，主要是以邁克爾遜干涉儀為主，并以穩(wěn)頻氦氖激光為光源，構(gòu)成一個(gè)具有干涉作用的測(cè)量系統(tǒng)。激光干…[詳情]

Information in English:LH1000 Dual-frequency Interferometer.pdfNonlinear error analysis and experimental measurement of Birefringence-Zeeman dual-frequency laser interferometer.pdf[詳情]

滿足計(jì)量檢測(cè)用戶更穩(wěn)定、更高精度、更便利的使用要求； 以光刻機(jī)用激光干涉測(cè)量系統(tǒng)為基礎(chǔ)， 在保留高穩(wěn)定性、高精度、高采樣速率卓越性能的同時(shí)， 將光源和測(cè)量信號(hào)接收處理單元集成在主機(jī)里， 一體化設(shè)計(jì)為用戶提供更加方便、易用、友好的使用體驗(yàn)；[詳情]

雙頻激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展而來的一種基于外差技術(shù)的高精度測(cè)量?jī)x器，它克服了單頻激光干涉儀易受環(huán)境影響的弱點(diǎn)，即使光強(qiáng)衰減90%，依然可以得到合適的電信號(hào)。由于這一特點(diǎn)，雙頻激光干涉儀可以在恒溫，恒濕，防震的計(jì)量室內(nèi)檢定量塊，量桿，刻尺和坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等，也可以…[詳情]

LG1000系列雙頻激光器采用自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的Zeeman-雙折射雙頻激光器，可定制1~20MHz的頻差，出光功率不受頻差的限制。無圓偏振光轉(zhuǎn)線偏振光帶來的非線性誤差，在超精密加工以及光刻機(jī)超精密計(jì)量等領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景。功能：直接出雙頻的激光器，灌封好加熱電阻絲，供用戶自主開發(fā)雙…[詳情]